டையசோ-நாஃப்த்தோ-குயினோன்

கட்டற்ற கலைக்களஞ்சியமான விக்கிப்பீடியாவில் இருந்து.
தாவிச் செல்லவும்: வழிசெலுத்தல், தேடல்
டையசோ-நாஃப்த்தோ-குயினோன்
ImageFile
வேதியியல் குறிப்புகள்
CAS எண் 879-15-2
Jmol-முப்பரிமாணப் படங்கள் Image 1
பண்புகள்
மூலக்கூறு வாய்பாடு C10H6N2O
வாய்ப்பாட்டு எடை 170.17 g mol-1
வேறென்று குறிப்பிடப்படாத வரைக்கும் மேலே குறிப்பிடப்பட்டுள்ள மதிப்புகள்
பொருட்களின் திட்ட வெப்ப அழுத்த நிலை (25 °செல்சியசு, 100 கிலோ பாஸ்கல்) மதிப்புகள் ஆகும்.
Infobox disclaimer and references

டையசோ-நாஃப்த்தோ-குயினோன் (Diazonaphthoquinone) சுருக்கமாக டிஎன்கியூ (DNQ) என்பது நாஃப்த்தோ-குயினோனின் வழிவந்த டையசோ வகை சேர்மம். டையசோ-நாஃப்த்தோ-குயினோன் ஒளியின் தாக்கத்தால் இவுல்ஃபு மாற்றியமைப்பு (Wolff rearrangement) என்னும் நிகழ்ச்சி நடந்து கீட்டோன் ஆக மாற்றப்படுகின்றது[1]. இச்சேர்மம் குறைக்கடத்தி நுண்கருவி நுட்பவியலில் ஒளியுணரிப்படலங்களைப் பயன்படுத்தி நுண்ணிய அமைப்புகளை உருவாக்குவதில் பெரிதும் பயன்படுத்தப் படுகின்றது.

டையசோ-நாஃப்த்தோ-குயினோன் சல்ஃபானிக்காடி எசுத்தர்கள், குறைக்கடத்தி நுண்கருவி நுட்பவியலில் ஒளியுணர்மாறிகளில் (photoresist) பயன்படுத்தப் படுகின்றது[2][3] இப்பயன்பாட்டில் டிஎன்கியூ(DNQ)-க்கள் நோவாலாக் (Novolac) இரெசினோடு (resin) சேர்த்துப் பயன்படுத்தப் படுகின்றது. இவற்றில் டிஎன்கியூ பொருள் கரையாமைத் தன்மையைத் தருகின்றது. குறைக்கடத்திக் கருவிகள் செய்யும்பொழுது, ஒளியூடுருவக்கூடிய பகுதிகளும், ஊடுருவாத பகுதிகளும் அமைந்த மறைப்பிகள் (masks) பயன்படுத்தப்படும். ஒளியூடுருவிச் சென்று இந்த ஒளியுணர்மாறிப் படலத்தின் மீது ஒளிபட்டால் டிஎன்கியூ பொருள் கீட்டோனாக மாறி கரைப்பானில் கரையும் தன்மையைப் பெறுகின்றது. எங்கு ஒளி படவில்லையோ அங்கு டிஎன்கியூ கரையாமைப் பண்பைத் தருகின்றது. எனவே ஒளியுணர்மாறியைக் கரையச்செய்யும் சிறப்பு நீர்மத்தில் இட்டால், படலத்தில் ஒளிபட்ட இடங்கள் ஒளியுணர்மாறி கரைந்தும், ஒளிபடா இடங்களில் கரையாமலும் நின்று இருப்பதால் அடுத்துவரும் செயற்பாடுகளில் கரைந்த இடத்தை வேதிப்பொருளால் தாக்கி வினையுறச் செய்ய இயலும். .

உசாத்துணை[தொகு]

  1. N. C. de Lucas, J. C. Netto-Ferreira, J. Andraos, and J. C. Scaiano (2001). "Nucleophilicity toward Ketenes: Rate Constants for Addition of Amines to Aryl Ketenes in Acetonitrile Solution". J. Org. Chem. 66 (5): 5016–5021. doi:10.1021/jo005752q. பப்மெட் 11463250. 
  2. Chemical Information Review Document for Diazonaphthoquinone Derivatives Used in Photoresists, National Toxicology Program, January 2006
  3. Integrated Circuits: A Brief History